第231章 歷史性时刻,命名逐光【二合一求订阅】(2/4)

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在那台毫米级演示装置上,心情复杂连连感慨。
    “从我国开始重点研究光刻机,到现在多少年了,总算实现了可商用的,足以领先世界的核心光源系统,我这辈子没啥遗憾嘍。”
    “才只是成功验证了核心光源系统,你就没遗憾了,起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。”贺鹏涛笑著接过话茬,跟在丁顺安后面补充了两句。
    丁顺安附和道:“有徐总师在,这是迟早的事。”
    说完两人转头看向徐铭。
    “徐总师,请允许我代表所有光机所人员,由衷向你表示感谢。”贺鹏涛最先开口道:“没有你的物理理论,我们根本不可能这么快,便攻克稳定功率的极紫外光源。”
    “仅这一项理论成果,就起码让咱们少走了几年,甚至十几年的弯路。”丁顺安也没沉默。
    面对两位院士的如此称讚,徐铭反应更快,连忙出声回应。
    “两位院士言重了,既然这个担子交给我,那我自然会尽最大努力做好。”
    “何况后面还有更重要的工作,需要我们大家完成。”
    把热烈氛围推向高峰。
    接下来的时间,实验室交给了潘耀负责。
    继续进行光源实验,好记录更加详细的数据,用於之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
    徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士,来到办公室安排后续工作。
    “下一步我们微电子装备,就会正式把新的极紫外光源技术,应用到光刻机的核心光源系统上,另外双工件台控制系统和计量检测系统,也都在同步的攻坚中,这些年集团的研究可不是一点成果没有。”
    办公室內丁顺安首先发言,在讲到最后一句时,能感受到话语中的自信。
    春城光机所擅长光刻机的核心光源系统,微电子装备却是主攻其他部件技术o
    尤其作为国產光刻机主力研发团队,肯定在部分领域也有著独到之处,甚至並不落后海外技术多少。
    如今最困难的极紫外光源被顺利解决,就好比在两截道路中间的大山中,打通了一条可通行的隧道,当车辆全速行驶起来,距离终点站又岂会远。
    贺鹏涛虽来自春城光机所,但对於微电子装备方面的研究还是比较认可的。
    尤其现在还进行了资源整合。
    闻言也当即讲出自己的看法和决心。
    “眼下我们有了极紫外光源,並且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术,根据国內技术整体评估,我看最多两年时间,就能成功组装出首台国產极紫外光刻机。”
    “阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机,恐怕也会在两三年时间內发布。”丁顺安想到什么接过话茬补充。
    贺鹏涛笑呵呵回复句。
    “那就刚好比一比,看看谁的极紫外光刻机,综合性能更加领先。”
    徐铭听完两人的对话,嘴角也不由得微微上扬,对阿斯麦公司的光刻机,还真涌现出些许期待。
    他也想看看,採用了全新物理现象理论,研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。
    估摸著拿下阿斯麦在行业中的地位,恐怕不会太难。
    思维思忖至此,他很快轻微摇了下头,暂时把这件事拋在脑后,主动提起接下来的正事。
    “后续极紫外光刻机的研发,就还拜託贺院和丁院来坐镇负责了,如果遇到什么技术瓶颈的话,隨时通知我参加研討会商议解决方案。”
    “等璇璣系统的开发稳定后,我会多关注这边的。”
    目前全新隨机几何分析框架的构建,正值最后的关键几个证明步骤。
    等完成此理论,便能正式著手开发新的算法。
    在这种情况下,他肯定不能逗留在微电子装备,今天下午就要赶回燕京继续推导。
    主要璇璣系统和光刻机,都是高端晶片製造產业链中的重要环节,只不过一个属於前端一个属於后端。
    想实现百分之百国產化升级,就必须把璇璣系统和国產极紫外光刻机,同时研发出来才行,否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。
    无论贺鹏涛还是丁顺安,他们自然都清楚,璇璣系统的重要性。
    不过在听完徐铭这番话之后,互相对视一眼,依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。
    本以为徐铭选择把精力放在新一代eda上,只是藉助总设计师的身份,好让国內eda公司更好整合技术,加快全新一代极紫外光eda工具算法问世。
    结果在璇璣系统项目发布后,他们才意识到,徐铭不单单是负责人那么简单。
    而是亲自参与了璇璣系统的开发。
    很难想像只是有著被燕大信院培养的经歷,如何能去完成复杂庞大的eda软体。
    要说一点不担忧,那绝对是假的。
    毕竟这要是等国產极紫外光刻机问世,配套的璇璣系统却迟迟无法完成,说不定反倒成了为海外做嫁衣。
    若当初徐铭转到信息算法领域也就罢了,关键精力基本全在数学和物理学科上。
    於是念头在脑海中快速闪过下,贺鹏涛院士实在没忍住心里的好奇,主动开□向徐铭確认了一句。
 

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