第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功(3/3)
放前几年的时候，徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传，毕竟在他那一大堆头衔中，最开始的可是燕大数院教授。
不过今年肯定是没有这个时间。
6月27日，周二，微电子装备集团总部。
今天光学测量实验室內，要比以往任何时候都要热闹，尤其人员上更是打破记录。
因为在外面房间內，愣是聚集了大十几个身影。
且有將近一半，都为院士。
目前用於流片的晶圆片已完成製造，被送入了光学测量实验室，进行关键的光学测量和电子显微镜检测，这能够得到详细的流片数据，以及晶片良品率。
眾人眼下待在这里，正是想第一时间知道结果。
明明面积不大的房间內，大家几乎紧挨著坐下，却愣是安静的很。
纷纷保持著沉默。
谁都没有率先开口打破僵局。
显然心情都很紧张。
直到房间门外突然响起一阵敲门声，瞬间让眾人同时抬起视线望去，心臟仿佛都跳快了不少。
平时一向稳重的院长余高远，更是首先脱口喊话。
“进来。”
穿著实验服的科研人员推门进来，手中拿著份崭新出炉的报告，脚步才刚迈进房间，便迫不及待开口匯报。
“徐总师，各位院士领导。”
“晶圆片的光学测量数据结果出来了————”
“直接讲吧。”徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。
而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。
“根据测量结果显示，逐光解析度完全达標，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。”
当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬著的心总算彻底放下，证明逐光国產极紫外光刻机主体研发成功。
標誌著国內终於拥有了，百分之百国產化的，高端极紫外光刻机。
不过大家並没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。
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不过今年肯定是没有这个时间。
6月27日，周二，微电子装备集团总部。
今天光学测量实验室內，要比以往任何时候都要热闹，尤其人员上更是打破记录。
因为在外面房间內，愣是聚集了大十几个身影。
且有將近一半，都为院士。
目前用於流片的晶圆片已完成製造，被送入了光学测量实验室，进行关键的光学测量和电子显微镜检测，这能够得到详细的流片数据，以及晶片良品率。
眾人眼下待在这里，正是想第一时间知道结果。
明明面积不大的房间內，大家几乎紧挨著坐下，却愣是安静的很。
纷纷保持著沉默。
谁都没有率先开口打破僵局。
显然心情都很紧张。
直到房间门外突然响起一阵敲门声，瞬间让眾人同时抬起视线望去，心臟仿佛都跳快了不少。
平时一向稳重的院长余高远，更是首先脱口喊话。
“进来。”
穿著实验服的科研人员推门进来，手中拿著份崭新出炉的报告，脚步才刚迈进房间，便迫不及待开口匯报。
“徐总师，各位院士领导。”
“晶圆片的光学测量数据结果出来了————”
“直接讲吧。”徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。
而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。
“根据测量结果显示，逐光解析度完全达標，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。”
当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬著的心总算彻底放下，证明逐光国產极紫外光刻机主体研发成功。
標誌著国內终於拥有了，百分之百国產化的，高端极紫外光刻机。
不过大家並没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。
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